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    六氟乙烷、三氟化氮、六氟化钨、氯化氢、笑气、二氯氢硅、磷烷、砷烷、硅烷、四氟化硅、四氟化碳、氙气、三氯化硼、一氧化碳、八氟环丁烷、溴化氢、三氟甲烷、一氟甲烷、三氟化硼、二氧化碳、氯气、氨气、氦气等电子级高纯气。

    品种名称

    英文名

    化学式

    纯度(%)

    充装容器(L)

    充装量(Kg)

    氨气

    Ammonia

    NH3

    99.999%

    44168

    22.7、6.8、4.1

    99.9997%

    砷烷

    Arsine

    AsH3

    99.999%

    5025105

    22.711.34.52.3

    99.9999%

    三氯化硼

    Boron trichloride

    BCl3

    99.99%

    4416

    36.310

    99.999%

    三氟化硼

    Boron trifluoride

    BF3

    99.99%

    441687

    27.29.14.5

    99.995%

    氯气

    Chlorine

    Cl2

    99.99%

    4944168

    45.440.818.14.5

    99.999%

    二氯二氢硅

    Dichlorosilane

    SiH2Cl2

    99%

    4416

    40.910

    99.9%

    三氟甲烷

    Halocarbon 23

    CHF3

    99.995%

    4416

    31.85.0

    99.999%

    氯化氢

    Hydrogen chloride

    HCl

    99.995%

    494416

    31.727.29.1

    99.9995%

    氧化亚氮

    Nitrous oxide

    N2O

    99.97%

    44168

    2729.04.5

    99.9998%

    三氟化氮

    Nitrogen trifluoride

    NF3

    99.7%

    4417

    207.7

    99.995%

    SiCl4

    Silicon tetrachloride

    SiCl4

    99.94%

    210MC38L

    27245.4

    硅烷

    Silane

    SiH4

    99.999%

    4944

    1410

    99.9995%

    磷烷

    Phosphine

    PH3

    99.999%

    441683

    1364.12.30.7

    99.998%

    99.999%

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