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    组分名称

    浓度范围

    平衡气

    氢气
    4%
    氮气
    乙硼烷
    5%
    氮气
    磷烷
    50ppm
    氮气
    磷烷
    0.5%
    氮气
    磷烷
    5%
    氦气
    磷烷
    5%
    氮气
    氢气
    4%
    氮气
    氟气
    0.95%
    氖气
    氪气
    1.25%
    磷烷
    1%
    氦气
    氧气
    30%
    氦气
    乙硼烷
    100PPM
    氢气
    磷烷
    50PPM
    氢气
    甲烷
    10%
    氩气
    氨气
    10%
    氦气
    氧气
    20%
    氩气
    氢气
    7%
    氦气
    乙硼烷
    5%
    氮气
    氪气
    1.2%
    氖气
    氟气
    1%
    氖气
    氪气
    1.5%
    氟气
    1%
    氖气
    氩气
    3.5%
    氩气
    3.5%
    氖气
    氙气
    0.01%
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